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美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀

美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀

产品型号: SQ2MICRO系列

所属分类:PARKER阀

产品时间:2019-12-17

简要描述:美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀
SQ2Micro 减压阀用于需要在狭小空间内进行精确压力控制的UHP超高纯使用点场合。提供提供优良的可靠性和泄漏完整性,使其成为关键半导体操作的理想选择

详情介绍

美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀产品介绍:

派克Veriflo 产品组的SQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv) 是市场上zui先进的微型超高纯减压阀。这个系列提供非常精确和可靠的压力控制,提高MFC(质量流量控制器)性能是半导体生产的重复性和产量的关键.这个系列同样表现出优异的泄漏完整性和低粒子生成性,是半导体行业减少过程污染的基本要素.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体,为阶跃函数流需求变化提供非凡的响应。这个系列利用独特的自动定心束缚膜片提供可靠阀座密封和压力调节。通过消除阀芯弹簧和阀座螺纹最小化颗粒产生与截留,进一步提高工艺清洁度和吹扫性能。 

SQ2Micro系列接液部件有特殊金属加工制成,提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体内部材料为电抛光Vericlean™ 316L不锈钢. Vericlean™ 是派克专li超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料结合SQ2Micro系列的独特设计带来了SQ2Micro系列强耐腐蚀性和最长循环寿命,最大入口压力250 psig. 

SQ2Micro和 SQ2Micro130E是具有相同间距的小型Veriflo量子阀.A型阀体带有内部面密封低压接口,安装压力表和传感器。SMSQ2Micro系列用于表面贴装.

所有SQ2Micro系列减压阀内部(阀座)密封和外部金属密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪确保其在苛刻的超高压领域性能和可靠性.

 

市场:
• 半导体 
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空
• 工业

 

美国派克PARKER超高纯束缚膜片减压阀特点和优势:
• 极低粒子数
• 束缚膜片消除接液区域弹簧,提高安全性
• SMSQ2Micro Cv=0.06, SMSQ2Micro130E Cv=0.15
• 出口压力范围: -10 psig - 60 psig
• 内漏率: ≤ 5 x 10-8 scc/sec标准立方厘米/秒 He 
• 外漏率: ≤ 2 x 10-10 scc/sec标准立方厘米/秒 He
• 5 微英寸 (Ra粗糙度) 电抛光表面处理
• 工作温度范围: -40°F - +150° F (-40°C - +66°C)

 

应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 气体柜
• 阀组箱 (VMB)

 

如需进一步了解派克产品,请点击:PARKER阀

 



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